半導體製程及原理

半導體產業結構可區分為材料加工製造、晶圓之積體電路製造(wafer fabrication)( ... 晶圓,經由電路設計、光罩設計、蝕刻、擴散等製程,生產各種用途之晶圓,此為中游工業。 ... 於中等溫度(500~800℃)的附著,二氧化矽由四乙經基矽,Si(OC2H5)4, ...