13新興製造技術

摘要:半導體製程(單晶成長、晶圓切片、薄膜製作、微影、蝕刻、. 「擴散與離子植入、金屬化及測試、鍵結與封裝). 13-2 微細製造概述. 摘要:產業應用、持續發展與展望、 ...

晶圓的製作

晶圓的製作. Page 2. IC 製作過程. Page 3. 晶體. • amorphous(非晶) p. (非晶). • polycrystalline(多晶,多結. 晶,複晶). 結 ... 改善前製程所留下的微缺陷. 提高晶圓 ...