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國圖紙本論文. 研究生: 朱正煒. 研究生(外文):, Chu Cheng-Wei. 論文名稱: 光學薄膜之光學常數測量方法之研究. 論文名稱(外文):, The research on the measurement ...
國圖紙本論文. 研究生: 朱正煒. 研究生(外文):, Chu Cheng-Wei. 論文名稱: 光學薄膜之光學常數測量方法之研究. 論文名稱(外文):, The research on the measurement ...
第三章金屬薄膜光學常數之測量. 3.1 前言. 金屬薄膜的複數折射率及其厚度的量測在光學元件的製作品質上與. Kretschmann 組態結構上扮演著極重要的角色。
2003年2月20日 - 低介電常數薄膜技術的發展正如火如荼進行中,要成功整合低介電常數薄膜於多層導體內連線技術時,將面臨到許多的困難。尤其在引入一新的低介 ...
它們具有一層層薄膜,薄膜的厚度與可見光波長同一個數量級,使得. 在膜層中來回反射 ... 與垂直薄膜面之法線的夾角,N為光經過之物質的光學常數(optical constant).
假設照射一束光波於薄膜,由於折射率不同,光波會被薄膜的上界面與下界面 ... 相位關係取決於兩個反射光不同的光程,而光程取決於薄膜厚度,光學常數,和波長。
光学薄膜常数-折射率、消光系数和膜层厚度是光学薄膜制备的基础,通过透射光谱法测试计算得到的薄膜常数具有较高的精度。Ta2O5是一种常用的氧化物薄膜, ...
隨著半導體元件尺寸縮小,介電質的介電常數(k) 會明顯影響提高元件速度的能力, ... 晶片製造商逐步減小絕緣薄膜的介電值:從二氧化矽材料的4.0,到在180 奈米中 ...
薄膜光学常数的测量- 薄膜光學常?的測? 輔大物?系?國基 前言: 光學薄膜特性?測,可以用到的儀器相當多,也可以相當貴。但光學薄膜從1950 ?代開始發展。1960 ?
一世代半導體產業的介電常數小於或等於 2 ,孔隙度必須高達 60 〜 709 ^ ,因此在 ... 低介電常數薄膜的製備以旋塗為主,厚度由幾千埃到一微米,薄膜不均勻度在 8 吋晶 ...
2007年8月30日 - Dow Corning表示,其最新的低介電常數碳化矽與氫化碳氧化矽(low-k SiC and H:SiOC)薄膜製造方法已獲得美國專利。這套方法利用電漿輔助化學 ...