CN102925894B - 一种酸性铜蚀刻液及其制备工艺- Google Patents
本发明涉及一种酸性铜蚀刻液,其特征在于,所述铜蚀刻液质量百分比组成为:硫酸1%~20%、过硫酸盐5%~25%、表面活性剂0.05~0.5wt%和余量的纯水;所述表面 ...
本发明涉及一种酸性铜蚀刻液,其特征在于,所述铜蚀刻液质量百分比组成为:硫酸1%~20%、过硫酸盐5%~25%、表面活性剂0.05~0.5wt%和余量的纯水;所述表面 ...
本发明目的在于提供一种蚀刻液及使用了该蚀刻液的铜配线的形成方法,该蚀刻液可以对铜配线横截面赋予良好的顺锥形状,而且侧蚀量少、容易形成精细图案的线路 ...
本发明公开了一种蚀刻液及其应用,含有氯化铁或氯化铜、无机过氧化物或有机过氧化物、弱有机酸、弱无机酸或酸性缓冲剂,络合剂以及含硫化合物。本发明的蚀刻液 ...
保积庆, 沈筱芳, 徐劼, 俞恬. 膜电解法再生FeCl3蚀刻液的蚀刻性能研究. 2014, 34(2): 195-198. BAO Jiqing, SHEN Xiaofang, XU Jie, YU Tian. Performance of FeCl3 ...
本发明涉及一种利用化学方法在印刷线路板上形成线路的单液型酸性蚀刻液。其各组分及含量为,盐酸38%~42%,氯化铵10%~12%,添加剂0.15%~0.25%, ...
本实用新型涉及一种碱性废蚀刻液的循环再生技术,尤其涉及一种碱性蚀刻液循环再生系统,该系统包括组分调节系统、铜回收系统和温控系统。蚀刻机产生的碱性废 ...